Оригинал (Original)
Автори: Alexandrova, S., Халова, Е. Й., Kojuharova, N.
Заглавие: „Characterization of Si surface, modified by H+ plasma implantation“
Ключови думи: Si, SiOx, hydrogenation, interface trap

Библиография

    Издание

    Дни на физиката’2015, Сб. Популярни и научни доклади, том 7, стр. стр. 110-114, 2015, България, София, Издателство на ТУ-София, ISSN 1313-9576

    Издателските права се държат от Издателство на ТУ-София

    		Autors: Alexandrova, S., Halova, E. Y., Kojuharova, N.
    Title: „Characterization of Si surface, modified by H+ plasma implantation“
    Keywords: Si, SiOx, hydrogenation, interface trap

    References

      Issue

      Days of Physics at the Technical University - Sofia, vol. 7, pp. 110-114, 2015, Bulgaria, Sofia, Publishing house of TU-Sofia, ISSN 1313-9576

      Copyright Издателство на ТУ-София

      Вид: публикация в национален форум