Оригинал (Original)
Автори: Aлександрова, С., Халова, Е. Й., Кожухарова, Н.
Заглавие: Рентгенова ФЕС на наноструктурирани SiOxNy слоеве - химичен състав и структура“,
Ключови думи: Фотоелектронна спектроскопия, имплантация, наноструктури

Библиография

    Издание

    Дни на физиката’2014, Сб. Популярни и научни доклади, том 6, стр. стр. 143-145, 2014, България, София, Издателство на ТУ-София, ISSN 1313-9576

    Издателските права се държат от Издателство на ТУ-София

    		Autors: Alexandrova, S., Halova, E. Y., Koujuharova, N.
    Title: X-ray photoelectron spictoscopy of nanostructured SiOxNy layers - chemical composition and structure
    Keywords: Photoelectron spectroscopy, implantation, nanostructures

    References

      Issue

      Days of Physics at the Technical University - Sofia, vol. 6, pp. 143-145, 2014, Bulgaria, Sofia, Publishing house of TU-Sofia, ISSN 1313-9576

      Copyright Издателство на ТУ-София

      Вид: публикация в национален форум