Оригинал (Original)
Автори: Александрова, C., Халова, Е. Й.
Заглавие: “Свръхтънки слоеве, получени чрез йонна имплантация”
Ключови думи: имплантация, SiOxNy, тънки слоеве

Библиография

    Издание

    Дни на физиката’2013, Сб. Популярни и научни доклади, том 5, стр. стр. 118-123, 2013, България, София, Издателство на ТУ-София, ISSN 1313-9576

    Издателските права се държат от Издателство на ТУ-София

    		Autors: Alexandrova, S., Halova, E. Y.
    Title: "Ultra-thin layers obtained by ion implantation"
    Keywords: implantation, SiOxNy, thin layers

    References

      Issue

      Days of Physics at the Technical University - Sofia, vol. 5, pp. 118-123, 2013, Bulgaria, Sofia, Publishing house of TU-Sofia, ISSN 1313-9576

      Copyright Издателство на ТУ-София

      Вид: публикация в национален форум