Autors: Tarnev, K. T., Pavlova, R. A.
Title: Simultaneous existence of stochastic and ohmic heating in capacitive discharges
Keywords: plasma sources, numerical modeling

References

    Issue

    J. Plasma Physics, vol. 85, pp. 905850201, 2019, United Kingdom,

    Цитирания (Citation/s):
    1. Influence of the gas pressure in a Torr regime capacitively coupled plasma deposition reactor Kim, H.J. 2021 Plasma Sources Science and Technology - 2021 - в издания, индексирани в Scopus или Web of Science

    Вид: статия в списание, публикация в издание с импакт фактор, публикация в реферирано издание, индексирана в Scopus