Оригинал (Original)
Автори: Александрова-Пандиева, М. П., Денишев, К. Х.
Заглавие: Технологии за микро- и наносистеми
Ключови думи: микротехнологии, наноинженеринг

Абстракт: Настоящото ръководство за лабораторни упражнения по “Технологии за микро- и наносистеми” е предназначено за студентите ОКС „магистър“ І курс от специалност “Микротехнологии и наноинженеринг” на Факултет по електронна техника и технологии (ФЕТТ). Ръководството е съобразено с изискването в учебния план за проектно-ориентирана програма. В този смисъл, лабораторните упражнения и протоколите към тях са съобразени с технологичните възможности в катедра „Микроелектроника“, като студентите не просто извършват наблюдения и провеждат технологични процеси, а прилагат всеки от процесите с цел изработването на прост микроелектронен елемент. Дисциплината използва знания и умения, придобити от курсовете по физика, химия и материалознание. В края на практическото си обучение, студентите ще бъдат запознати с основните технологични процедури и процеси и ще могат творчески да решават проблеми, свързани с конструирането и изготвянето на съвременни микро- и наноелементи и системи.

Библиография

    Издание

    , стр. стр. 76, 2019, България, ИЗДАТЕЛСТВО НА ТЕХНИЧЕСКИ УНИВЕРСИТЕТ –СОФИЯ, ISBN 978-619-167-393-3
    		Autors: Aleksandrova, M. P., Denishev, K. H.
    Title: Micro- and nanosystems technologies
    Keywords: microtechnologies, nanoengineering

    Abstract:

    References

      Issue

      , pp. 76, 2019, Bulgaria, TU-Sofia Publishing House, ISBN 978-619-167-393-3

      Вид: ръководство, публикация в реферирано издание