Autors: Aleksandrova, M. P., Tsanev, T. D., Dobrikov, G. H., Kolev, G. D., Marios Sophocleous., Julio Georgiou., Denishev, K. H.
Title: Sputtering of Ga doped ZnO nanocoatings on silicon for piezoelectric transducers
Keywords: nanocoating, piezoelectric transducers, sputtering, metal-oxide films

References

    Issue

    IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., vol. 618, pp. 012014, 2019, United Kingdom,

    Вид: публикация в международен форум, публикация в издание с импакт фактор, публикация в реферирано издание, индексирана в Scopus