Детайли за публикацията
(Publication details)

Оригинал (Original)
Автори: Видеков, В. Х., Цанева, Б. Р., Ячовски А., Врублевски И., Фърков Г.
Заглавие: Изследване термичната устойчивост на наноструктурни мамбрани за МЕМС
Ключови думи: микромеханика, аноден оксид, наноматериали

Абстракт: Един от основните конструктивни елементи в микромеханиката е мембраната. Същата може да се използва като чисто конструктивен елемент изпълняващ носеща функция или като функционален елемент на изпълнителен механизъм. В този аспект са важни параметрите на тези мембрани и в частност температурната им устойчивост. В доклада са разгледани мембрани изготвени чрез анодно израстване на алуминиев оксид. Същите представляват наноструктуриран материал. Представени са експериментални резултати от изследване температурната устойчивост на такива мембрани с дебелини под 100 µm. Показана е методиката за тестване и оценка на резулатта. Температурния диапазан на изследване е от минус 250 ºС до 400 ºС.

Библиография

    Издание
    Научни известия, том XVIII, брой 2, стр. стр. 403-409, 2010, България, Научнотехническия съюз по машиностроене, ISSN 1310-3946

    Autors: Videkov, V. H., Tzaneva, B. R., Yachovski A., Vrublevsky I., Farkov G.
    Title: Research on thermal stability of nanostructures for MEMS membranes
    Keywords: micromachining, anodic aluminum oxide, nanomaterials

    Abstract: One of the main structural elements in the micromechanics is the membrane. It may be used as a purely structural function or performing carrier as a functional element of the actuator. In this aspect the parameters of these membranes and in particular their temperature resistance are important. The paper examined membranes prepared by anode aluminum oxide growth. They represent a nanostructured material. Experimental results of the temperature resistance of such membranes with thicknesses below 100 µm are presented. A methodology for testing and evaluating the result is shown. The temperature range of the survey is from minus 250 º C to 400º C.

    References

      Issue
      Scientific procidings, vol. XVIII, issue 2, pp. 403-409, 2010, Bulgaria, Scientific-Technical Union of Mechanical Engineering, ISSN 1310-3946

      Вид: статия в списание

      Въведена от: доц. д-р Боряна Рангелова Цанева