Оригинал (Original)
Автори: Видеков, В. Х., Цанева, Б. Р., Банкова А., Врублевски И., Чернякова К.
Заглавие: Изследване на слойни структури от мембрани на Al2O3
Ключови думи: аноден оксид на алуминия, нанопорести мембрани, тестване

Абстракт: В материала е разгледан метод и експериментална постановка за изследване механични параметри на мембрани от аноден оксид на алуминия. Същите могат да намират приложение в различни МЕМС структури и е важно тяхното поведение при огъване и триене. Представени са резултатите от разработка и изготвяне на тестови образци.

Библиография

    Издание

    Научни известия на научнотехническия съюз по машиностроене, том XXII, брой 4, стр. стр. 374-377, 2014, България, Научнотехнически съюз по машиностроене, ISSN 1310-3946
    		Autors: Videkov, V. H., Tzaneva, B. R., Bankova A., Vrublevsky I., Chernyakova K.
    Title: Investigation of Al2O3 Membrane Layer Structures
    Keywords: anodic aluminum oxide, nanoporous membranes, mechanical tests

    Abstract: In the paper is presented a method and an experimental setting for the study of mechanical parameters of anodic aluminum oxide membranes. They can be used in various MEMS structures and their bending and friction behavior is important. The results of the development and preparation of test samples are presented.

    References

      Issue

      Scientific procidings, vol. XXII, issue 4, pp. 374-377, 2014, Bulgaria, Scientific-Technical Union of Mechanical Engineering, ISSN 1310-3946

      Вид: статия в списание