Оригинал (Original)
Автори: Видеков, В. Х., Банкова А., Цанева, Б. Р., Врублевски И., Чернякова K.
Заглавие: Експериментални методи за изпитване на аноден Al2O3 на огъване
Ключови думи: наноструктурирани мембрани, механични изпитвания, аноден окс

Абстракт: В настоящия доклад са представени резултати от изпитване на наноструктурирани мембрани, подложени на многократни огъвания. Показани са варианти за паралелно изпитване с цел сравнение на резултатите за различни мембрани. Изпитванията са с цел определяне граничните режими за работа на мембраните при използването им в МЕМС.

Библиография

    Издание

    Научни известия на научнотехническия съюз по машиностроене, том XXIII, брой 9, стр. стр. 333-339, 2015, България, Научнотехнически съюз по машиностроене, ISSN 1310-3946
    Autors: Videkov, V. H., Bankova A., Tzaneva, B. R., Vrublevsky I., Chernyakova K.
    Title: Experimental test methods anodic Al2O3 bending
    Keywords: nanostructured membranes, mechanical tests, anodic aluminum oxide, bending

    Abstract: The paper presents the results from repetitive mechanical bending tests of nanostructure membranes. Various options for parallel testing were examined, in order to compare the results for different membranes. The tests aim is to determine the threshold mechanical operation mode of the membranes which can be used in MEMS.

    References

      Issue

      Scientific procidings, vol. XXIII, issue 9, pp. 333-339, 2015, Bulgaria, Scientific-Technical Union of Mechanical Engineering, ISSN 1310-3946

      Вид: статия в списание