Оригинал (Original) | |||||
---|---|---|---|---|---|
Автори: Видеков, В. Х., Банкова А., Цанева, Б. Р., Врублевски И., Чернякова K. Заглавие: Експериментални методи за изпитване на аноден Al2O3 на огъване Ключови думи: наноструктурирани мембрани, механични изпитвания, аноден окс Абстракт: В настоящия доклад са представени резултати от изпитване на наноструктурирани мембрани, подложени на многократни огъвания. Показани са варианти за паралелно изпитване с цел сравнение на резултатите за различни мембрани. Изпитванията са с цел определяне граничните режими за работа на мембраните при използването им в МЕМС. Библиография Издание
| Autors: Videkov, V. H., Bankova A., Tzaneva, B. R., Vrublevsky I., Chernyakova K. Title: Experimental test methods anodic Al2O3 bending Keywords: nanostructured membranes, mechanical tests, anodic aluminum oxide, bending Abstract: The paper presents the results from repetitive mechanical bending tests of nanostructure membranes. Various options for parallel testing were examined, in order to compare the results for different membranes. The tests aim is to determine the threshold mechanical operation mode of the membranes which can be used in MEMS. References Issue
|
Вид: статия в списание