Оригинал (Original)
Автори: Видеков, В. Х., Цанева, Б. Р., Ячовски Ал.К.
Заглавие: Микромеханични структури на база анодиран алуминий
Ключови думи: микромеханика, аноден алуминиев оксид, наноматериали

Абстракт: В доклада се разглежда възможността да се използва анодния алуминиев оксид за изграждане на микромеханични елементи. Представени са основните моменти от технологията за анодизиране и получаваната структура на оксида. Разгледани са зависимости и параметри свърващи конктрукцията на микромеханични елементи с параметрите на анодния оксид. Показани са възможни приложения на този материал като алтернатива на стандартния силиций. Дадени са експериментални резултати за армиране на оксида с цел промяна на неговите конктрукционни параметри. Предложени са някои варианти за използване на новите материали.

Библиография

    Издание

    Научни известия, брой 4, стр. стр. 191-196, 2007, България, София, Научно технически съюз по машиностроене, ISBN 1310–3946

    Пълен текст на публикацията

    		Autors: Videkov, V. H., Tzaneva, B. R., Yachovski A.K.
    Title: Micromechanical structures based on anodised aluminum
    Keywords: micromechanics, anodic aluminium oxide, nanomaterials

    Abstract: The report examines the possibility of using anodic aluminum oxide for the micromechanical elements construction. The main etapes of the anodization technology and the obtained oxide structure are presented. The influence of the anodic oxide structure on the parameters of the micromechanical elements are examined. Some potential applications of this material are shown as an alternative to standard silicon. Experimental results for reinforcing the oxide are given. Some options for using new materials are proposed.

    References

      Issue

      Scientific procidings, issue 4, pp. 191-196, 2007, Bulgaria, Sofia, Scientific-Technical Union of Mechanical Engineering, ISBN 1310–3946

      Full text of the publication

      Вид: статия в списание