Оригинал (Original)
Автори: Александрова-Пандиева, М. П., Добриков, Г. Х., Видеков, В. Х.
Заглавие: Материалознание в микроелектрониката
Ключови думи: свойства и технологични особености на полупроводникови, диел

Абстракт: В учебника са разгледани теми, свързани с методи за получаване на свръхчисти вещества; методи за кристализация и за получаване на планарни монокристални и поликристални пластини; свойства и технологични особености на полупроводникови, диелектрични и проводящи тънкослойни материали; приложенията им в съвременни микро- и наноелектронните устройства; микрогенераторни, сензорни и актуаторни елементи, използващи пиезоефекти; материали за фото- и термоелектрични преобразуватели; електролуминесцентни и течнокристални материали и дисплеите на тяхна основа; наноматерили (нановлакна, нанотръбички и др.). Учебникът е предназначен за студентите от ОКС “бакалавър”, специалност “Микроелектроника” във ФЕТТ по дисциплината “Материалознание в микроелектрониката”. Съдържанието на осъвременената учебна програма съответства на модерните тенденции в областта на микроелектронните устройства и материали и е обвързана с инженерната практика.

Библиография

    Издание

    , 2016, България, София, Издателство на ТУ-София
    		Autors: Aleksandrova, M. P., Dobrikov, G. H., Videkov, V. H.
    Title: Material science for microelectronics
    Keywords: properties and specific technological features of semiconducting, dielectric and conducting thin films, applied in the modern micro- and nanoelectronic devices

    Abstract: In the suggested book topics are developed in relation with the methods for purification of substances; methods for semiconductors and dielectrics crystallization; planar substrates fabrication for integrated circuits substrates (silicon and other semiconductor wafers); synthesis, properties and specific technological features of semiconducting, dielectric and conducting thin films, applied in the modern micro- and nanoelectronic devices, such as microchips, MEMS sensors and actuators, energy harvesters, using piezo-, thermo- and photoelectric effects, electroluminescent and liquid crystal displays, nanowires, nanotubes, etc. This book is for the course “Material science for microelectronics”, specialty “Microelectronics” in Faculty of Electronic Engineering and Technologies, Bachelor degree. The existing subject curriculum has been updated more than 85%. The content of the program up to date, is in accordance with the modern trends in the area.

    References

      Issue

      , 2016, Bulgaria, Sofia, TU-Sofia Publishing House

      Вид: учебник