Autors: Kolev, G. D., Denishev, K. H., Bobeva, S. D.
Title: Design and Analyzing of Silicon Diaphragm for MEMS Pressure Sensors
Keywords: MEMS, pressure sensor, silicon diaphragm

References

    Issue

    Annual Journal of Electronics, vol. 4, issue 2, pp. 112, 2010, Bulgaria, Sofia, ISSN 1313-1842

    Вид: публикация в национален форум с межд. уч., публикация в реферирано издание, индексирана в национален референтен списък