Оригинал (Original)
Автори: Александрова-Пандиева, М. П.
Заглавие: Технологии за микро- и наносистеми - учебник
Ключови думи: вакуумни процеси, фотолитография, ецване, термична дифузия

Библиография

    Издание

    , стр. стр. 1-196, 2023, България, ISBN 978-619-167-514-2
    		Autors: Aleksandrova, M. P.
    Title: Technology of micro- and nanosystems
    Keywords: vacuum deposition, photolitography, etching, thermal diffusion

    References

      Issue

      , pp. 1-196, 2023, Bulgaria, ISBN 978-619-167-514-2

      Вид: учебник на български език, публикация в реферирано издание