Оригинал (Original)
Автори: Видеков, В. Х., Цанева, Б. Р., Ячовски А., Фърков Г.
Заглавие: Диелектрични наноструктурирани мембрани с метално ядро
Ключови думи: нанотехнологии, микроелектроника, мехатроника

Абстракт: Нанотехнологиите навлязоха практически във всички области на техниката. В някои от тях те се използват самостоятелно, а в други като инструмент за изготвяне на елементи. При изработването на различни видове сензори или микросистеми се използват мембрани с дебелини от няколко десетки до единици микрона. В доклада се разглеждат експериментални резултати от прилагане на технологии за израстване на наноструктуриран аноден оксид на алуминия като процес за изготвяне на мембрани. Представена е технологична схема за изготвяне на мембрана от диелектрик с вградена метална сърцевина, позволяваща използването ѝ в капацитивни сензори.

Библиография

    Издание

    9 МНТК по Авангардни материали и обработки АМО`2009, 25-27 юни 2009, стр. стр. 337-342, 2009, България, Кранево, ДМТ Продукт, ISSN 1313-4264
    		Autors: Videkov, V. H., Tzaneva, B. R., Yachovski A., Farkov G.
    Title: Dielectric nanostructured membranes with metal core
    Keywords: nanotechnology, microelectronics, mechatronics

    Abstract: Nanotechnologies have been practical in all fields of technology. In some of them, they are used on their own and in others as a tool for making elements. In making various sensors or microsystems, membranes with thickness from a few tens to microns are used. The report explores experimental results from the application of technology for nanostructured aluminum oxide producing as a membrane bleaching process. A technological scheme of a dielectric membrane design with a built-in metal core are provided for use in capacitive sensors.

    References

      Issue

      9th International conference on advanced manufacturing operations AMO'2009, pp. 337-342, 2009, Bulgaria, Kranevo, DMT PRODUCT, ISSN 1313-4264

      Вид: публикация в международен форум