Оригинал (Original)
Автори: Видеков, В. Х., Митев, М. Г., Цанева, Б. Р., Ячовски А.
Заглавие: Технологична екипировка за изграждане наноструктуриран оксид
Ключови думи: технологична екипировка, аноден алуминиев оксид, наноматериа

Абстракт: При изграждане на микроелектромеханични системи се използват различни слоеве и методи за обработката им. В материала се разглеждат изискванията към екипировка за изграждане на слоеве от аноден оксид на алуминий. Характерното за него е възможността за наноструктурно изграждане. Получаването на стабилни параметри на слоя е свързано с поддържане на технологични режими, тяхното възпроизвеждане и възможност за изменение. Доклада представя резултатите от разработката на блокове за управление и контрол на процеса на анодиране с възможности за изменение на ток и напрежение в широк диапазон за нуждите на изследователски задачи. Предвидена е възможност за паралелен контрол на режимите в няколко точки.

Библиография

    Издание

    Научни известия, брой 3, стр. стр. 102-108, 2008, България, София, Научнотехнически съюз по машиностроене, ISSN 1310-3946
    		Autors: Videkov, V. H., Mitev, M. G., Tzaneva, B. R., Yachovski A.
    Title: Technological equipment for the construction of structured oxide
    Keywords: technological equipment, anodic aluminium oxide, nanomaterials

    Abstract: When building microelectromechanical systems, different layers and methods are used to process them. The paper examines the requirements for equipment for the fabrication of layers of anodic aluminum oxide with self-ordered nanoporous structure. The obtaining of stable layer parameters is related to the maintenance of experimental conditions and the possibility for control.

    References

      Issue

      Scientific procidings, issue 3, pp. 102-108, 2008, Bulgaria, Sofia, Scientific-Technical Union of Mechanical Engineering, ISSN 1310-3946

      Вид: статия в списание